WLBI-22

Wafer-Level SiC Test Handler

Ein leistungsstarker Handler, der mehrere Prüftests mit bis zu 1800 Testkanälen pro Wafer ermöglicht und unabhängige Treiber für gleichzeitige Spannungs-/Strommessungen sowie Temperaturüberwachung bietet.

Wafer Cassette Handling
Siliziumkarbid (SiC) Leistungsbauelemente
Bis zu 1800 pro Wafer-Einheit
Vor-/Nachtest (IGSS, IDSS, Vth, VSD)
Stresstest (IGSS, IDSS)
Gasregelsystem zur Lichtbogenunterdrückung