Wafer-Level-Test
WLBI-22
Wafer-Level SiC Test Handler
Ein leistungsstarker Handler, der mehrere Prüftests mit bis zu 1800 Testkanälen pro Wafer ermöglicht und unabhängige Treiber für gleichzeitige Spannungs-/Strommessungen sowie Temperaturüberwachung bietet.
Wafer Cassette Handling | |
Siliziumkarbid (SiC) Leistungsbauelemente | |
Bis zu 1800 pro Wafer-Einheit | |
Vor-/Nachtest (IGSS, IDSS, Vth, VSD) Stresstest (IGSS, IDSS) |
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Gasregelsystem zur Lichtbogenunterdrückung |