AA DOEアセンブリ
回折光学素子とハウジングを高精度な位置合わせで取り付ける完全自動化装置
Queen-AAD
AA DOEモジュール
回折光学素子とハウジングをDOEモジュールに組み立てるために設計され、テストおよび認定システムを備えた高精度、高速アクティブアライメントのスタンドアロンアセンブリ装置です。
| バイブレーターボウル、JEDECトレイ（デュアル入力構成オプションが利用可能） | |
| 回折光学素子、ハウジング | |
| UV接着剤 | |
| ±0.080mm, 80μm | |
| 4秒（4ドット） | |
| ドットメソッド | |
| <5秒 | |
| パッケージ検査、外観検査、ビジョンアライメント/位置決め | |
| 遠距離場テスト | |
| XYシータ分解能（0.05°） 回転分解能（0.05°） 高精度ビジョンアライメント XYZ分解能（0.1μm） XYZ精度（1μm） | |
| 最大2サイト |