ウェハーレベルの検査
ZAN-X 2000
先進のウェハーAOI
システム ZANX 2000 は、ベア ウェハーおよびフィルム フレーム ウェハー上の微細およびマクロの表面欠陥を高分解能で検出するために設計された高度な自動ウェハー検査システムです。
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ベアウェーハ (6インチ、8インチ、12インチ) ウェハー厚さ: 100um~1000um フィルムフレームウェーハ(6インチ、8インチ、12インチ) |
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| FOUP/FOSB、オープンカセット、メタルカセット | |||||||||||||||||||
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